網(wǎng)帶式燒結(jié)爐如何設(shè)計(jì)燒結(jié)曲線和爐溫均勻性
日期：2018-10-16 8:57:09 作者： 流量：
燒結(jié)是低溫共燒陶瓷（LTCC）中生產(chǎn)工藝流程中重要的環(huán)節(jié)，它是將經(jīng)過層壓的多層基板模板放入燒結(jié)爐中，進(jìn)行排膠和燒結(jié)成型。排膠不充分燒結(jié)后基板會起泡、變形或分層。排膠過量可能會使金屬化層脫落或基板碎裂。低溫共燒技術(shù)的關(guān)鍵是燒結(jié)曲線和爐膛溫度的均勻性。燒結(jié)時(shí)升溫速度過快，會導(dǎo)致基板的平整度差和收縮率大。爐膛溫度均勻性差，燒結(jié)后基板收縮率的一致性也很差。
LTCC低溫共燒陶瓷基片對溫度均勻性以及燒結(jié)曲線有著較高的要求，排膠段需向爐內(nèi)通入氣體來輔助排膠，如果通入的氣體與爐溫相差過大，比將影響到爐內(nèi)溫度，我們可將輔助排膠氣體加熱到與爐溫一致后經(jīng)過較短的保溫管道通入爐內(nèi)，使進(jìn)入爐溫的氣體不對爐溫產(chǎn)生沖擊。
同樣燒結(jié)曲線對基片的燒成質(zhì)量有很大的影響，一般的溫度控制僅僅是依靠布置在加熱器附近的溫度傳感器來控制的，而對于待燒基片位置的溫度卻不能夠如實(shí)的反應(yīng)。這樣一來，燒結(jié)曲線就不是基片所處的真實(shí)溫度過程，對燒結(jié)工藝帶來不確定性。為了使其一致，可以將串級控溫引進(jìn)到燒結(jié)爐中，通過加熱器附近和基片附近的兩組熱偶串接共同控制爐溫。
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